Οι μεμβράνες νιτριδίου πυριτίου ηλεκτρονικού βαθμού παράγονται με χημική εναπόθεση ατμών ή ενισχυμένη απόθεση χημικών ατμών στο πλάσμα:
3 SIH4 (g) συν 4 NH3 (g) → Si3n4 (s) συν 12 h2 (g)
3 SICL4 (g) συν 4 NH3 (g) → SI3N4 (s) συν 12 HCl (g)
3 SICL2H2 (g) συν 4 NH3 (g) → SI3N4 (s) συν 6 HCl (g) συν 6 h2 (g)
Εάν το νιτρίδιο του πυριτίου πρόκειται να κατατεθεί σε ένα υπόστρωμα ημιαγωγών, υπάρχουν δύο μέθοδοι:
1.
Χρησιμοποιήστε χημική εναπόθεση χημικών ατμών χαμηλής πίεσης σε σχετικά υψηλές θερμοκρασίες σε κάθετο ή οριζόντιο κλίβανο σωλήνα.
2.
Το πλάσμα ενισχυμένη εναπόθεση χημικών ατμών σε σχετικά χαμηλές θερμοκρασίες σε κενό.
Οι παράμετροι κυττάρων μονάδας του νιτριδίου πυριτίου είναι διαφορετικές από εκείνες του στοιχειακού πυριτίου. Ως εκ τούτου, ανάλογα με τη μέθοδο εναπόθεσης, η προκύπτουσα φιλμ νιτρίδη πυριτίου θα έχει ένταση ή άγχος. Συγκεκριμένα, όταν χρησιμοποιείται η ενισχυμένη εναπόθεση χημικών ατμών που ενισχύεται στο πλάσμα, η τάση μπορεί να μειωθεί ρυθμίζοντας τις παραμέτρους εναπόθεσης.
Το διοξείδιο του πυριτίου παρασκευάζεται για πρώτη φορά με τη μέθοδο Sol-Gel και στη συνέχεια το πηκτό πυριτίου που περιέχει εξαιρετικά σωματίδια άνθρακα επεξεργάζεται με καρβοθερμική μείωση και νιτρίδωση για να ληφθούν νανοσωλήνες νιτριδίου πυριτίου. Τα εξαιρετικά σωματίδια άνθρακα στο πυριτικό πήκτωμα παράγονται με αποσύνθεση της γλυκόζης σε βαθμό 1200-1350. Οι αντιδράσεις που εμπλέκονται στη διαδικασία σύνθεσης μπορεί να είναι:
SiO2 (s) συν C (s) → Sio (g) συν Co (g)
3 SIO (g) συν 2 n2 (g) συν 3 co (g) → si3n4 (s) συν 3 CO2 (g) ή
3 Sio (g) συν 2 n2 (g) συν 3 c (s) → Si3n4 (s) συν 3 co (g)
